納隆類金剛石碳基涂(tu)(tu)層(ceng)因其高(gao)的(de)抗(kang)腐(fu)蝕性、化學(xue)惰性、抗(kang)磨(mo) 損性和低(di)的(de)摩(mo)擦系數等優異性能(neng)(neng),被廣(guang)泛用作保護涂(tu)(tu)層(ceng)。通(tong)過向 DLC 涂(tu)(tu)層(ceng)中摻(chan)雜 Si 元素不僅可(ke)以(yi)進一 步提(ti)高(gao)涂(tu)(tu)層(ceng)的(de)性質,而且還可(ke)以(yi)通(tong)過控制 Si 的(de)摻(chan)入 量,沉積低(di)應力的(de)多層(ceng)結構(gou)。這種多層(ceng)結構(gou)不但可(ke) 以(yi)沉積厚膜(mo),而且還能(neng)(neng)延長腐(fu)蝕離子的(de)擴散(san)路徑,以(yi)增強其抗(kang)腐(fu)蝕性能(neng)(neng)。